Luận Án Tiến Sĩ Nghiên Cứu Chế Tạo Dây Và Cột Nano Silic Trên Cơ Sở Công Nghệ Vi Cơ Điện Tử

1. Đã tìm được quy trình chế tạo dây nano silic bằng công nghệ vi cơ khối ướt với kích thước và chiều dài khác nhau.
2. Đã đề xuất và chế tạo thành công đơn lớp hạt silica với kích thước từ 50- 300 nm trên đế silic. Đây là cơ sở cho việc chế tạo các đế plasmonic và các cấu trúc nano khi sử dụng đơn lớp hạt làm mặt nạ chế tạo.
3. Tìm ra quy trình ổn định để thu nhỏ kích thước hạt nano silica khi sử dụng ăn mòn hơi HF. Kích thước các hạt có thể điều khiển chính xác ở tỉ lệ nano.

• Luận án tiến sĩ Vật liệu
• Chuyên ngành Khoa học Vật liệu
• Người hướng dẫn khoa học: PGS.TS. Chu Mạnh Hoàng, GS. TS. Vũ Ngọc Hùng
• Tác giả: Nguyễn Văn Minh
• Số trang: 150
• Kiểu file: PDF
• Ngôn ngữ: Tiếng Việt
• Đại học Bách khoa Hà Nội 2019

Link Download
http://luanvan.moet.edu.vn/?page=1.9&view=32748
https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1