Luận Văn Thạc Sĩ Nghiên Cứu Thiết Kế Chế Tạo Cảm Biến Gia Tốc Điện Trở Ba Bậc Tự Do Trên Cơ Sở Công Nghệ Vi Cơ

Discussion in 'Chuyên Ngành Khoa Học Vật Liệu' started by quanh.bv, Mar 28, 2019.

  1. quanh.bv

    quanh.bv Administrator Quản Trị Viên

    [​IMG]
    Nghiên Cứu Thiết Kế Chế Tạo Cảm Biến Gia Tốc Điện Trở Ba Bậc Tự Do Trên Cơ Sở Công Nghệ Vi Cơ Khối Khô
    Trên cơ sở hiệu ứng áp trở đối với vật liệu silíc, cảm biến gia tốc kiểu áp điện trở đã được nghiên cứu chế tạo bằng công nghệ ăn mòn khô lần đầu tiên ở Việt Nam. Đây là linh kiện có vai trò nhmột bộ biến đổi cơ điện, bao gồm một khối gia trọng, các thanh dầm đàn hồi và ba cầu điện trở kiểu Wheatstone đo gia tốc theo ba phơng đã đợc chế tạo bằng phơng pháp khuếch tán. Trong khuôn khổ của luận án, đã thiết lập đợc một quy trình công nghệ chế tạo cảm biến gia tốc phù hợp với điều kiện và các trang thiết bị sẵn có ở viện ITIMS.
    • Luận văn thạc sĩ vật liệu
    • Chuyên ngành Khoa học vật liệu
    • Người hướng dẫn khoa học: PGS. TS. Vũ Ngọc Hùng
    • Tác giả: Nguyễn Văn Minh
    • Số trang: 103
    • Kiểu file: PDF
    • Ngôn ngữ: Tiếng Việt
    • Đại học Bách khoa Hà Nội 2008
    Link Download
    http://dlib.hust.edu.vn/handle/DHBKHN_123456789/13119
    https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1
     

Share This Page