Luận Án Tiến Sĩ Nghiên Cứu Vi Cấu Trúc Và Cơ Tính Của Các Vật Liệu Phủ Ngoài

Nghiên Cứu Vi Cấu Trúc Và Cơ Tính Của Các Vật Liệu Phủ Ngoài​

1. Chỉ ra rằng khi nồng độ Si trong lớp phủ CrN/AlSiN tăng, độ cứng và mô-đun đàn hồi của lớp phủ tăng. Nồng độ Si khác không, lớp phủ CrN/AlSiN là vật liệu phủ ngoài siêu cứng. Vật liệu phủ ngoài CrN/AlBN có độ cứng, mô-đun đàn hồi thay đổi theo PN và TS. Khi PN=1,33 Pa, vật liệu phủ ngoài CrN/AlBN có độ cứng, mô-đun đàn hồi cao nhất. Các lớp phủ này có độ cứng, mô-đun đàn hồi cao do mặt tiếp xúc giữa các lớp sắc nét. Khi TS tăng từ 300 oC đến 350 °C, xuất hiện tinh thể h-AlN trong lớp AlBN, kích thước hạt tinh thể, độ cứng và mô-đun đàn hồi tăng.
2. Giải thích rõ được cơ chế tăng cường cơ tính của lớp AlSiN trong vật liệu phủ ngoài CrN/AlSiN khi nồng độ Si tăng là do sự thay đổi đáng kể của tỉ phần các đơn vị cấu trúc SiNx trong lớp AlSiN. Sau khi nung các mẫu Al1-xSixN lên 5000 K, rồi làm lạnh để thu được các mẫu ở nhiệt độ 300 đến 900 K, xuất hiện các đám tinh thể AlN fcc xen kẽ với các đám AlN và Si3N4 vô định hình. Quá trình nguội nhanh gây nên quá trình tinh thể hóa AlN trên nền Si3N4 vô định hình, dẫn đến mô-đun đàn hồi của vật liệu Al1-xSixN được tăng cường.

• Luận án tiến sĩ vật lý
• Chuyên ngành vật lý kỹ thuật
• Người hướng dẫn khoa học: PGS. TS. Lê Văn Vinh, PGS. TSKH. Phạm Khắc Hùng
• Tác giả: Nguyễn Thị Trang
• Số trang: 128
• Kiểu file: PDF
• Ngôn ngữ: Tiếng Việt
• Đại học Bách Khoa Hà Nội 2016

Link Download
http://luanvan.moet.edu.vn/?page=1.13&view=26265
https://drive.google.com/uc?id=1dFrdyT0Njz8_YRNnFNhi9wRgvrTC0VKy
https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1