Luận Văn Thạc Sĩ Chế Tạo Màng Mỏng Si3N4, Sio2 Và Màng Treo Si3N4 Bằng Phương Pháp Lắng Đọng Hơi Hóa Học

Chế Tạo Màng Mỏng Si3N4, Sio2 Và Màng Treo Si3N4 Bằng Phương Pháp Lắng Đọng Hơi Hóa Học Tăng Cường Plasma​

Giới thiệu cấu trúc, tính chất và ứng dụng của màng mỏng Si3N4 và SiO2 cũng như màng treo Si3N4. Trình bày một số phương pháp chế tạo màng mỏng và màng treo đang được nghiên cứu. Thực nghiệm và các phương pháp nghiên cứu. Giới thiệu tổng quan về thiết bị sử dụng và trình bày quá trình chế tạo màng mỏng Si3N4 và SiO2, màng treo Si3N4 theo phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma. Trình bày các phương pháp nghiên cứu để xác định tính chất hóa học, tính chất quang, tính chất cơ học và tính chất bề mặt của màng mỏng và màng treo. trình bày các kết quả thu được về màng mỏng như :điều kiện lắng đọng và ăn mòn khô của màng mỏng Si3N4, SiO2. Dựa vào kết quả này, màng treo Si3N4 đựợc chế tạo thành công với các kích thước khác nhau trên đếsilic. Từ các kết quả đo của màng treo, ta thấy được sự sai hỏng trong cấu trúc của vật liệu Si3N4 vô định hình.

• Luận văn thạc sĩ khoa học
• Chuyên ngành Vật lý chất rắn
• Người hướng dẫn: TS. Nguyễn Việt Tuyên, TS. Nguyễn Quốc Hưng
• Tác giả: Phạm Thị Hồng
• Số trang: 86
• Kiểu file: PDF
• Ngôn ngữ: Tiếng Việt
• Đại Học Khoa Học Tự Nhiên - Đại Học Quốc Gia Hà Nội 2018

Link Download
https://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/69669
https://drive.google.com/uc?id=1gJv-Q22_5GEAzM43TnyrZ31AVKhFi_QX
https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1