Luận Văn Thạc Sĩ Giải Số Hệ Phương Trình Khuếch Tán Đồng Thời Bốn Thành Phần (B, As, I Và V) Tìm Phân Bố Nồng Độ

Giải Số Hệ Phương Trình Khuếch Tán Đồng Thời Bốn Thành Phần (B, As, I Và V) Tìm Phân Bố Nồng Độ Trong Vật Liệu Silic Dựa Trên Lý Thuyết Nhiệt Động Học Không Thuận Nghịch​

Ngày nay, kỹ thuật mô hình hóa và mô phỏng bằng máy tính ngày càng được sử dụng một cách rộng rãi và không thể thiếu trong những ngành khoa học hiện đại mũi nhọn. Sự ra đời, phát triển một cách mạnh mẽ của các linh kiện bán dẫn phụ thuộc rất nhiều vào sự hỗ trợ của mô phỏng các quá trình thiết kế và chế tạo linh kiện. Sự giảm kích thước của các linh kiện cần thiết phải có những mô hình mô phỏng tiên tiến cho phép tiên đoán được những hiệu ứng có thể xảy ra trong đó, hay đối với mô phỏng quá trình công nghệ như quá trình khuếch tán phải tiên đoán được sự phân bố nồng độ tạp chất. Quá trình công nghệ chế tạo linh kiện có thể phân chia đơn giản thành hai nhóm chính [41]: (1) là quá trình tạo chế tạo các cấu trúc (như ăn mòn, lắng đọng, tạo mặt nạ), trong quá trình này đặc trưng của các vật liệu bán dẫn được sử dụng bị thay đổi, và (2) là quá trình xử lý nhiệt và pha tạp (nung ủ, cấy ion) trong quá trình này phân bố của tạp chất được điều khiển.

• Luận văn thạc sĩ Khoa học và công nghệ Nanô
• Chuyên ngành Vật liệu và Linh kiện nanô
• Người hướng dẫn khoa học: GS. TSKH. Đào Khắc An
• Tác giả: Phan Anh Tuấn
• Số trang: 83
• Kiểu file: PDF
• Ngôn ngữ: Tiếng Việt
• Đại học Quốc gia Hà Nội 2007

Link Download
http://dlib.vnu.edu.vn/iii/cpro/DigitalItemViewPage.external?lang=vie&sp=1010690
https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1