Luận Án Tiến Sĩ Mô Phỏng Và Tối Ưu Hóa Vi Gắp Có Cảm Biến Dùng Để Thao Tác Với Các Vi Vật Thể

Hệ thống vi cơ điện tử (MEMS- Microelectromechanical Systems) đã và đang phát triển mạnh mẽ trong những năm gần đây. Cùng với xu hướng đó, việc nghiên cứu, thiết kế và chế tạo các vi gắp đóng vai trò rất quan trọng. Nhờ những tiến bộ trong công nghệ bán dẫn và polyme, một cấu trúc mới về vi gắp sử dụng vật liệu silicpolyme đã được đề xuất và chế tạo để khắc phục những hạn chế của các loại vi gắp trước đó. Hệ thống này cho độ chuyển vị, lực tương tác và tần số hoạt động cao, mặt khác nó hoạt động ở điện áp thấp và tương thích với công nghệ chế tạo vi mạch bán dẫn (CMOS). Do đó, hệ thống này có thể ứng dụng rộng rãi trong các hệ thống vi thao tác, vi rôbốt, các hệ thống gắp tế bào sống, mổ nội soi, v.v..

• Luận án tiến sĩ Kỹ thuật
• Chuyên ngành Kỹ thuật điện tử
• Người hướng dẫn khoa học: PGS. TS. Chử Đức Trình, PGS. TS Vũ Ngọc Hùng
• Tác giả: Phan Hữu Phú
• Số trang: 136
• Kiểu file: PDF
• Ngôn ngữ: Tiếng Việt
• Đại học Quốc gia Hà Nội 2016

Link Download
http://lib.uet.vnu.edu.vn/handle/123456789/10
https://drive.google.com/uc?id=1vumSDAVKyLQyBMiOiiUM2TQrl6nfe1Er
https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1