Luận Án Tiến Sĩ Nghiên Cứu Áp Dụng Một Số Phương Pháp Hạt Nhân Nguyên Tử Trong Phân Tích Vật Liệu TiO2/SiO2

Nghiên Cứu Áp Dụng Một Số Phương Pháp Hạt Nhân Nguyên Tử Trong Phân Tích Vật Liệu TiO2/SiO2 Sử Dụng Chùm Ion Từ Máy Gia Tốc ​

Trong khi các nghiên cứu về trộn lẫn ion cho cấu trúc hai lớp thường được khảo sát bằng mức biến đổi độ dày của lớp trên, luận án đã tiếp cận nghiên cứu trộn lẫn ion bằng cách tính toán độ dày tương đối của lớp chuyển tiếp giữa hai lớp bằng phương pháp RBS. Từ đó khắc phục được nhược điểm khi dùng FWHM của đỉnh RBS tương ứng với lớp trên trong khảo sát trộn lẫn ion cho cấu trúc oxit/oxit.
Luận án đánh giá sơ bộ được biến đổi mức độ trộn lẫn, thành phần hóa học và các hệ số quang gây bởi chùm tia ion. Kết quả cho thấy mức độ trộn lẫn có xu hướng tăng khi tăng khối lượng và năng lượng của ion trong khoảng 100 – 250 keV. Hiện tượng này có sự đóng góp của sự biến đổi về hàm lượng thành phần hóa học của lớp bề mặt sau khi cấy. Trong khi các hệ số quang học cho thấy sự biến đổi không tỉ lệ với năng lượng ion tới.
Giải thích cơ chế trộn lẫn và nguyên nhân chính dẫn đến sự biến đổi về mức độ trộn lẫn, hàm hợp chất và các hệ số quang - tương ứng với các thay đổi trong quãng chạy của ion, số lượng ion tương tác và các sai hỏng mạng tinh thể gây ra trong vùng chuyển tiếp, đạt được từ mô phỏng SRIM.

• Luận án tiến sĩ vật lý
• Chuyên ngành Vật lý nguyên tử và hạt nhân
  
• Người hướng dẫn: GS.TS. Lê Hồng Khiêm, TS. Miroslaw Kulik
• Tác giả: Trần Văn Phúc
• Số trang: 108
• Kiểu file: PDF_TRUE
• Ngôn ngữ: Tiếng Việt
• Học Viện Khoa Học và Công Nghệ 2023

Link Download
http://luanvan.moet.edu.vn/?page=1.13&view=41682
https://drive.google.com/file/d/1PLIl2Np1Q_2-99QafjEQ8lZqxqCCmfu4
https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1