Luận Văn Thạc Sĩ Nghiên Cứu, Chế Tạo Cảm Biến Dòng Chảy Dựa Trên Nguyên Lý Cảm Biến Tụ Điện Đồng Phẳng

Nghiên Cứu, Chế Tạo Cảm Biến Dòng Chảy Dựa Trên Nguyên Lý Cảm Biến Tụ Điện Đồng Phẳng​

Từ những năm 50 của thế kỷ trước với những cuộc cách mạng về công nghệ bán dẫn đã đem lại nhiều thành tựu, tạo ra sự thay đổi lớn lao trong mọi mặt đời sống con người.Sự ra đời công nghệ MEMS viết tắt của cụm từ MicroElectromechanical Systems, nghĩa là hệ thống vi cơ điện tử là thuật ngữ chỉ các hệ thống điện tử có thể thêm các bộ phận chuyển động cơ kích thước cỡ micromét (vi cơ), hệ thống vi cảm biến,các yếu tố vi điện trên nền Silic bằng các công nghệ vi chế tạo. Trong khi những thành phần có thuộc tính điện được chế tạo dùng công nghệ mạch tích hợp (IC) như CMOS, bipolar, BICMOS, thì những thành phần vi cơ được chế tạo dùng quá trình vi cơ phù hợp đó là vi khắc có chọn lựa những phần wafer Si hoặc thêm vào những lớp có cấu trúc mới để tạo nên các thiết bị cơ và cơ điện. Hệ thống vi cơ điện tử (MEMS) thường sử dụng một vi mạch điều khiển các vi cảm biến có khả năng cảm nhận các yếu tố phi điện của môi trường xung quanh như nhiệt độ, ánh sáng, độ ẩm, vận tốc, gia tốc, áp suất.v.v…,được tích hợp hoàn chỉnh trên một chíp. Hệ thống này cũng sử dụng một vi nguồn để hoạt động.

• Luận văn thạc sĩ Công nghệ Điện tử - Viễn thông
• Chuyên ngành Kỹ thuật Điện tử
• Người hướng dẫn khoa học: PGS. TS. Chử Đức Trình
• Tác giả: Nguyễn Hồng Tuấn
• Số trang: 53
• Kiểu file: PDF
• Ngôn ngữ: Tiếng Việt
• Đại học Quốc gia Hà Nội 2014

Link Download
http://dlib.vnu.edu.vn/iii/cpro/DigitalItemViewPage.external?lang=vie&sp=1055788
https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1