Luận Án Tiến Sĩ Nghiên Cứu Chế Tạo Và Khảo Sát Màng Mỏng Ôxit Nhôm (Al2O3) Bằng Phương Pháp Quang Phổ

​

Màng mỏng đồng thời vừa là ngành công nghệ rất cũ, từ trước công nguyên, lại vừa rất mới mẽ như đang hiện diện ngày nay. Màng mỏng là lớp vật liệu rắn có độ dày cỡ từ nm đến cỡ μm phủ lên một tấm đế cứng bằng thủy tinh, kim loại, gốm sứ, polyme,… với chiều dày giới hạn khi mà các hiệu ứng vật lý và tính chất của nó thể hiện không giống như trong vật liệu khối. Do đó, với sự giảm lớn về lượng đến như vậy, các tính chất riêng biệt bắt đầu xuất hiện như một sự thay đổi về chất, nhất là ở thang kích cỡ nano. Nhìn chung, chiều dày của màng mỏng được đề cập trong các công nghệ vật liệu và linh kiện điện tử, quang điện tử,… nằm trong khoảng 10 ÷1000nm. Ngày nay, công nghệ chế tạo màng mỏng là vô cùng đa dạng và phong phú, bao gồm nhiều phương pháp khác nhau, từ đơn giản đến phức tạp.

• Luận án tiến sĩ Vật lý
• Chuyên ngành Quang học
• Người hướng dẫn khoa học: PGS.TS. Huỳnh Thành Đạt
• Tác giả: Giang Văn Phúc
• Số trang: 179
• Kiểu file: PDF-TRUE
• Ngôn ngữ: Tiếng Việt
• Đại học Khoa học Tự nhiên T.P. Hồ Chí Minh 2011

Link Download
http://ir.vnulib.edu.vn/handle/VNU_HCM/4994
https://drive.google.com/uc?id=1Cjn3aSvUrvNp7RvHhY4DGrVGxDv1XYmz
https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1