Nghiên Cứu Công Nghệ Chế Tạo Vật Liệu Nanô Màng, Ống, HạtMẫu silic xốp được chế tạo bằng phương pháp anod hóa phiến silic epitaxie PP+ hoặc nn+, định hướng (111), trở suất 1-10 Ohm.cm. Dung dịch anode hóa là hỗn hợp HF / C2H5OH/ D20 được pha theo tỉ lệ nhất định. Đầu tiên phiến silic được làm sạch bề mặt bằng xử lý hóa học, sau đó tạo điện cực ohmic ở mặt sau phiến silic bằng bốc bay nhiệt trong chân không các vật liệu AI tinh khiết hoặc vật liệu Au/Sb. Nguồn anode hóa là nguồn một chiều hiện số Digital DC Power Supply DRP 303 D, có khả năng ổn dòng và ổn thế trong khoảng giá trị 0-3A và 0-36 V. Sau quá trình anode hóa mẫu silic xốp được rửa sạch bằng nước khử ion và để khô tự nhiên ngoài không khí. Khác với các mẫu nghiên cứu trước đây. Mẫu chế tạo theo phương pháp mới này được thụ động hoá bề mặt bằng D, giúp nâng cao độ ổn định phát huỳnh quang. Đề Tài Nghiên Cứu Khoa Học Chủ nhiệm đề tài: GS. TS. Phan Hồng Khôi Số trang: 83 Kiểu file: PDF Ngôn ngữ: Tiếng Việt Hà Nội 2003 Link Download http://thuvien.tuaf.edu.vn/Chi-tiet...-che-tao-vat-lieu-nano-mang-ong-hat-5547.htmlhttps://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1