Luận Văn Thạc Sĩ Nghiên Cứu Mô Phỏng Và Khảo Sát Cảm Biến Áp Suất Kiểu Áp Trở Chế Tạo Trên Cơ Sở Công Nghệ Vi Cơ Điện

Nghiên Cứu Mô Phỏng Và Khảo Sát Cảm Biến Áp Suất Kiểu Áp Trở Chế Tạo Trên Cơ Sở Công Nghệ Vi Cơ Điện Tử (MEMS)​

Công nghệ vi chế tạo, cũng được biết đến là công nghệ MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) là một trong các công nghệ tiến tiến cho phép chế tạo các linh kiện vi hệ thống cơ điện tử. Bao gồm các dạng vi cấu trúc cơ, các bộ cảm nhận tín hiệu (sensor), các bộ chấp hành (actuator). Sản phẩm của công nghệ MEMS được ứng dụng rộng rãi trong công nghiệp ô tô, y sinh học, điều khiển tự động, đo lường, thông tin viễn thông …v…v… Trong các ngành công nghiệp, cảm biến áp suất được ứng dụng nhiều nhất trong lĩnh vực công nghiệp năng lượng, cũng như đóng vai trò quan trọng trong lĩnh vực y sinh học để đo nhịp tim, huyết áp. Ngoài ra cũng có thể thay thế xúc giác con người (như da nhân tạo) khi cần xác định hình dạng hay lực cầm nắm các vật. Trên thực tế, để đáp ứng các nhu cầu đa dạng thì đòi hỏi các cảm biến áp suất phải đáp ứng một cách tốt nhất cho từng trường hợp cụ thể. Chính vì vậy cảm biến áp suất kiểu áp trở, nó đáp ứng phần nào về độ nhạy và khả năng đo áp suất trong phạm vi khá rộng.

• Luận văn thạc sĩ Khoa học và công nghệ Nanô
• Chuyên ngành Vật liệu và Linh kiện nanô
• Người hướng dẫn khoa học: PGS. TS. Vũ Ngọc Hùng
• Tác giả: Nguyễn Hữu Khánh Nhân
• Số trang: 110
• Kiểu file: PDF
• Ngôn ngữ: Tiếng Việt
• Đại học Quốc gia Hà Nội 2008

Link Download
http://dlib.vnu.edu.vn/iii/cpro/DigitalItemViewPage.external?lang=vie&sp=1010740
https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1