Luận Án Tiến Sĩ Nghiên Cứu Thiết Kế Chế Tạo Vi Cảm Biến Vận Tốc Góc Âm Thoa Và Cảm Biến Gia Tốc Kiểu Tụ

1. Vi cảm biến vận tốc góc âm thoa trục Z có cấu trúc điều khiển ngược pha và treo tự do trên đế khung đã được nghiên cứu thiết kế và chế tạo. Đối với vi cảm biến vận tốc góc, các mode dẫn động đồng pha và mode cảm ứng đồng pha đã được hạn chế và ảnh hưởng của hiệu ứng tổn hao nén và tổn hao trượt trong không khí đã được giảm thiểu. Hệ số phẩm chất mode cảm ứng và độ nhạy của vi cảm biến vận tốc góc hoạt động trong môi trường không khí đạt giá trị tương ứng là 111,2 và 11,56 mV/o/s.
2. Vi cảm biến gia tốc kiểu tụ răng lược ba bậc tự do có cấu trúc thanh dầm gập dạng L đã được nghiên cứu thiết kế và chế tạo trên cơ sở sử dụng đế SOI. Độ nhạy của vi cảm biến gia tốc theo phương X, Y và Z đạt giá trị tương ứng là 13 mV/g, 11 mV/g và 0,2 mV/g. Độ nhạy chéo trục theo hai phương X và Y trong mặt phẳng của vi cảm biến có giá trị nhỏ hơn 5 %.

• Luận án tiến sĩ Vật liệu
• Chuyên ngành Khoa học Vật liệu
• Người hướng dẫn khoa học: GS.TS. Vũ Ngọc Hùng
• Tác giả: Nguyễn Ngọc Minh
• Số trang: 137
• Kiểu file: PDF
• Ngôn ngữ: Tiếng Việt
• Đại học Bách khoa Hà Nội 2020

Link Download
http://luanvan.moet.edu.vn/?page=1.9&view=34704
https://drive.google.com/uc?id=1QKybawysoGrGmpRWOuyvJ5iXjBN9l8OF
https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1