Luận Văn Thạc Sĩ Nghiên Cứu, Thiết Kế, Mô Phỏng Vi Cảm Biến Lực Ba Chiều Dựa Trên Nguyên Lý Áp Điện Trở

Nghiên Cứu, Thiết Kế, Mô Phỏng Vi Cảm Biến Lực Ba Chiều Dựa Trên Nguyên Lý Áp Điện Trở Và Cấu Trúc Tập Trung Áp Lực​

MEMS – Microelectromechanical Systems là một công nghệ chế tạo các linh kiện có chức năng kết hợp của điện và không điện trên chip và dựa trên nền tảng chế tạo CMOS. Các linh kiện này thông thường có các cấu trúc cỡ μm hoặc thậm chí là nanomet. Hiện nay, sản phẩm của công nghệ MEMS đã được ứng dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực khác nhau như: cảm biến chuyển động trong điện thoại, antenna thông minh trong thiết bị di động, microphone MEMS với tính định hướng và thông minh, các cảm biến trong y tế và nhiều lĩnh vực khác. MEMS là một ngành khoa học với tính liên ngành rất cao như thể hiện trên hình 1. Đầu tiên MEMS là kết hợp giữa ngành cơ và điện tử. Nhưng sau vài chục năm phát triển, MEMS liên quan đến rất nhiều ngành khác như truyền nhiệt, âm thanh, chất lỏng, điện từ, hóa học, sinh học, quang học, y tế, …

• Luận văn thạc sĩ Công nghệ Điện tử - Viễn thông
• Chuyên ngành Kỹ thuật Điện tử
• Người hướng dẫn khoa học: PGS. TS. Chử Đức Trình
• Tác giả: Phạm Hữu Thành
• Số trang: 45
• Kiểu file: PDF
• Ngôn ngữ: Tiếng Việt
• Đại học Quốc gia Hà Nội 2014

Link Download
http://dlib.vnu.edu.vn/iii/cpro/DigitalItemViewPage.external?lang=vie&sp=1059443&sp=T&sp=3&suite=def
http://sachviet.edu.vn/forums/dvd-ebook-luan-van.117/
https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1