Luận Văn Thạc Sĩ Nghiên Cứu Thiết Kế Và Chế Tạo Cảm Biến Tụ Phẳng

Nghiên Cứu Thiết Kế Và Chế Tạo Cảm Biến Tụ Phẳng​

Thế giới đang ngày càng phát triển các công nghệ tiên tiến theo hướng thu nhỏ kích thước của sản phẩm, nó dẫn đến sự phát triển nhanh chóng của một công nghệ mới gọi là MEMS (Microelectromechanical Systems – Hệ thống vi cơ điện tử). MEMS là một công nghệ được tích hợp các yếu tố cơ khí, điện tử, cảm biến và cơ cấu chấp hành trên một chất nền silicon sử dụng công nghệ chế tạo vi mô [22]. Các quá trình này là kết quả của việc kết hợp giữa vi cơ điện tử tiên tiến và công nghệ mạch tích hợp. Kích thước và tính năng tích hợp của các linh kiện MEMS là lợi thế lớn nhất của công nghệ này. Kích thước nhỏ cũng thể hiện ưu điểm sử dụng ít nguyên liệu và năng lượng được tiêu thụ thấp. Kích thước nhỏ của chúng cho phép xây dựng các dãy hàng trăm hệ thống trên một con chip duy nhất.

• Luận văn thạc sĩ Công nghệ Kỹ thuật Điện tử Truyền thông
• Chuyên ngành Kỹ thuật Điện tử
• Người hướng dẫn khoa học: PGS. TS. Chử Đức Trình
• Tác giả: Nguyễn Minh Ngọc
• Số trang: 58
• Ngôn ngữ: Tiếng Việt
• Đại học quốc gia Hà Nội 2016

Link Download
http://dlib.vnu.edu.vn/iii/cpro/DigitalItemViewPage.external?lang=vie&sp=1066974&sp=T&sp=4&suite=def
https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1