Luận Án Tiến Sĩ Nghiên Cứu Thiết Kế Và Mô Phỏng Hoạt Động Của Bộ Vi Chấp Hành Mũi Dò Quét Định Hướng Ứng Dụng

Nghiên Cứu Thiết Kế Và Mô Phỏng Hoạt Động Của Bộ Vi Chấp Hành Mũi Dò Quét Định Hướng Ứng Dụng Khắc Các Cấu Trúc Nano​

Luận án đã đề xuất và thiết kế mô phỏng bộ chấp hành dịch chuyển một chiều phương z hạn chế được nhiễu kết cặp cơ. Các cấu trúc lò xo dầm dạng zig-zag mở rộng và dạng lò xo dầm kết cặp cơ đáp ứng ưu tiên dịch chuyển theo phương z trong khi chống lại các mode dao động khác không mong muốn đã được đề xuất và khảo sát bằng cả phương pháp giải tích và mô phỏng số sử dụng phương pháp phần tử hữu hạn.
Một bộ chấp hành có khả năng điều khiển độc lập dịch chuyển ba chiều xyz tích hợp trên một chíp lần đầu tiên đã được nghiên cứu và thiết kế. Bộ vi dịch chuyển ba chiều với khả năng điều khiển dịch chuyển độc lập dựa trên việc đề xuất phương pháp cách ly điện trong khi đảm bảo kết cặp cơ giữa các thành phần cấu trúc đã được thiết kế và mô phỏng. Mô hình lý thuyết cho khảo sát hoạt động của bộ chấp hành đã được xây dựng làm cơ sở cho việc thiết kế các bộ vi chấp hành có đặc trưng hoạt động theo yêu cầu.

• Luận án tiến sĩ Vật liệu
• Chuyên ngành Khoa học Vật liệu
• Người hướng dẫn khoa học: PGS.TS. Chu Mạnh Hoàng, TS. Vũ Thu Hiền
• Tác giả: Đặng Văn Hiếu
• Số trang: 133
• Kiểu file: PDF
• Ngôn ngữ: Tiếng Việt
• Đại học Bách khoa Hà Nội 2021

Link Download
http://luanvan.moet.edu.vn/?page=1.9&view=37312
https://drive.google.com/uc?id=189KiSJySh5h9ztHGaQAsSZEiD48179uV
https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1