Nghiên Cứu Vi Động Cơ Kiểu Tĩnh Điện Dựa Trên Công Nghệ Vi Cơ Điện TửTrong các bộ kích hoạt/chấp hành tĩnh điện răng lược, khi xét đến ảnh hưởng của hiệu ứng viền, các lực tĩnh điện đều có giá trị lớn hơn khi không xét đến hiệu ứng này. Cùng với đó, chuyển vị trong bộ kích hoạt/chấp hành răng lược khi kể đến ảnh hưởng của hiệu ứng viền cũng có giá trị sát với kết quả mô phỏng và đo đạc thực nghiệm hơn so với giá trị tính toán không kể đến ảnh hưởng của hiệu ứng Luận án tiến sĩ cơ khí, Chuyên ngành Kỹ thuật cơ khí Người hướng dẫn khoa học: PGS.TS. Vũ Ngọc Hùng, PGS.TS. Phạm Hồng Phúc Tác giả: Đặng Bảo Lâm Số trang: 132 Kiểu file: PDF Ngôn ngữ: Tiếng Việt Đại học Bách Khoa Hà Nội 2014 Link Download http://luanvan.moet.edu.vn/?page=1.11&view=23617https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1