Ngày nay, khoa học kỹ thuật đang phát triển mạnh mẽ, MEMS đang có được bước tiến vượt bậc và đóng vai trò không nhỏ trong việc tạo động lực thúc đẩy cuộc cách mạng 4.0 kết nối thế giới. Với nhiều ưu điểm nổi trội nên các thiết bị MEMS ngày càng được sử dụng trong nhiều lĩnh vực. Các cảm biến MEMS là một phần của thế giới micro, vai trò của chúng trong các hệ thống micro là rất quan trọng. Cấu tạo của các cảm biến MEMS gồm có một cấu trúc cơ học kết hợp với bộ khuếch đại và xử lý tín hiệu. Các tín hiệu được biến đổi từ dạng cơ học sang dạng điện hoặc ngược lại. Luận án tiến sĩ kỹ thuật Chuyên ngành Cơ kỹ thuật Người hướng dẫn khoa học: PGS. TS Trần Quang Dũng, PGS. TS Chử Đức Trình Tác giả: Vũ Văn Thể Số trang: 153 Kiểu file: PDF Ngôn ngữ: Tiếng Việt Học viện Kỹ thuật Quân sự 2019 Link Download http://luanvan.moet.edu.vn/?page=1.11&view=33394https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1