Luận Văn Thạc Sĩ Thiết Kế Chế Tạo Cảm Biến Dòng Chảy Dựa Trên Nguyên Lý Kiểu Tụ Và Kiểu Áp Trở

Thiết Kế Chế Tạo Cảm Biến Dòng Chảy Dựa Trên Nguyên Lý Kiểu Tụ Và Kiểu Áp Trở ​

Hệ thống vi cơ điện tử (MEMS) là tập hợp các vi cảm biến và cơ cấu chấp hành có khả năng cảm nhận môi trường xung quanh và đáp ứng với những thay đổi trong môi trường đó với việc sử dụng một vi mạch điều khiển. Một thiết bị MEMS thông thường là một hệ thống vi cơ tích hợp trên một chíp với những cơ cấu chấp hành và cảm biến mong muốn. Hệ thống này cũng có thể cần vi nguồn cung cấp, vi r lay và đơn vị xử lý tín hiệu nhỏ. Công nghệ vi cơ đã và đang tiến xa hơn nhiều so với nguồn gốc của nó là công nghệ bán dẫn. Với ưu thế, có thể tạo ra những cấu trúc cơ học nhỏ bé tinh tế và nhạy cảm đặc thù, công nghệ vi cơ hiện nay đã cho phép tạo ra những bộ cảm biến và cơ cấu chấp hành được ứng dụng rộng rãi trong cuộc sống. Các thành phần vi cơ làm cho hệ thống hoạt động nhanh, đáng tin cậy, rẻ hơn và khả năng kết hợp các chức năng phức tạp.

• Luận văn thạc sĩ Công nghệ Điện tử - Viễn thông
• Chuyên ngành Kỹ thuật Điện tử
• Người hướng dẫn khoa học: PGS. TS. Chử Đức Trình
• Tác giả: Phạm Quốc Thịnh
• Số trang: 54
• Kiểu file: PDF
• Ngôn ngữ: Tiếng Việt
• Đại học Quốc gia Hà Nội 2013

Link Download
http://dlib.vnu.edu.vn/iii/cpro/DigitalItemViewPage.external?lang=vie&sp=1012482&sp=T&sp=3&suite=def
http://sachviet.edu.vn/forums/dvd-ebook-luan-van.117/
https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1