Luận Văn Thạc Sĩ Thiết Kế Ứng Xử Mỏi Kéo Của Các Cấu Trúc Màng Mỏng Silic Trong MEMS Có Phân Bố Ứng Suất Không Đều

Thiết Kế Ứng Xử Mỏi Kéo Của Các Cấu Trúc Màng Mỏng Silic Trong MEMS Có Phân Bố Ứng Suất Không Đều Bằng Phương Pháp Thí Nghiệm Mỏi Với Biên Độ Ứng Suất Tăng Dần​

Hệ thống vi cơ điện tử - MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) là hệ thống tích hợp các phần tử cơ khí, cảm biến, bộ kích hoạt và các cấu kiện điện tử, đƣợc sản xuất bằng công nghệ vi cơ. MEMS hứa hẹn cách mạng hóa các loại sản phẩm bằng cách tổ hợp các yếu tố vi điện lại với nhau trên một nền silic theo công nghệ vi cơ để tạo ra các hệ thống trên vi mạch hoàn chỉnh (systems on a chip). MEMS là một công nghệ cho phép phát triển các sản phẩm thông minh, tăng khả năng tính toán của các yếu tố vi điện tử nhờ các vi cảm biến và các bộ vi kích hoạt có khả năng nhận biết và điều khiển.

• Luận văn thạc sĩ kỹ thuật,
• Chuyên ngành cơ điện tử
• Người hướng dẫn khoa học: TS. Vũ Lê Huy
  
• Tác giả: Đinh Gia Nghiêm
• Số trang: 88
• Kiểu file: PDF
• Ngôn ngữ: Tiếng Việt
• Đại học Bách khoa Hà Nội 2017

Link Download
http://dlib.hust.edu.vn/handle/DHBKHN_123456789/10718
https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1