Luận Văn Thạc Sĩ Ứng Dụng Sensor Gia Tốc Mems Trong Việc Đo Góc Nghiêng Và Đo Độ Rung

Ứng Dụng Sensor Gia Tốc Mems Trong Việc Đo Góc Nghiêng Và Đo Độ Rung​

Công nghệ vi cơ điện tử MEMS mới xuất hiện trong thời gian gần đây nhưng đã có những đóng góp quan trọng trong quá trình phát triển khoa học kỹ thuật và công nghệ do những ưu điểm nổi bật của nó. Công nghệ này cho phép tạo ra những sản phẩm có kích thước rất nhỏ nhưng đạt độ chính xác cao. Tuy nhiên, ở Việt Nam lĩnh vực này mới chỉ được nghiên cứu phát triển trong những năm gần đây mà đi đầu là trung tâm ITIMS (Viện quốc tế đào tạo về khoa học vật liệu). Mặc dù vậy, trung tâm ITIMS mới chỉ nghiên cứu phát triển và chế tạo một số loại sensor MEMS. Xu hướng phát triển tiếp theo là đưa các sản phẩm này vào ứng dụng trong thực tế. Bộ môn Vi cơ điện tử và vi hệ thống thuộc Trường đại học Công nghệ đã tập trung nghiên cứu các ứng dụng của sản phẩm MEMS. Nằm trong chương trình nghiên cứu đó, luận văn này được thực hiện với mục đích tìm hiểu về sensor gia tốc kiểu tụ và các ứng dụng của loại sensor này.

• Luận văn thạc sĩ
• Chuyên ngành Kỹ thuật vô tuyến điện tử và thông tin liên lạc
• Người hướng dẫn khoa học: GS. TSKH. Nguyễn Phú Thùy
• Tác giả: Vũ Việt Hùng
• Số trang: 113
• Kiểu file: PDF
• Ngôn ngữ: Tiếng Việt
• Đại học Quốc gia Hà Nội 2005

Link Download
http://dlib.vnu.edu.vn/iii/cpro/DigitalItemViewPage.external?lang=vie&sp=1024245
https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1